1.3s48 32/hmt质量流量控制器(流量计)的特点
s48 32/hmt型质量流量控制器（流量计）是在horiba-stec引进技术基础上，结合国内需要而研制的一种质量流量控制器产品。
☆具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316l）结构，气密材料采用ptfe、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
☆可任意位置安装。
☆电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合工作。
技术指标
编号
项目
s48 32/hmt
s49-32ba/mt
1
流量规格
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)ml/min
(0～1,2,3,5,10，20，30，50)l/min
2
调节阀类型
电磁调节阀
3
调节阀静止状态
常闭
4
安装方向
任意
5
流量控制范围
2%～
6
流量测量范围
0～
7
零点温漂
±30mv（15℃～35℃）
8
响应时间
2s（t98，设定值的±2% f.s）
9
工作环境温度
5℃～50℃
10
精度保证温度
15℃～35℃
11
精度
±1.0%f.s
12
线性精度
±0.5%f.s
13
重复性
±0.2%f.s
14
工作压差
＜10l/min (50～300)kpa，其余规格(100～300)kpa
15
耐压
3mpa
16
泄漏率
1×10-8 pa•m3／s （he）
17
接触气体材料
316l、ptfe、viton氟橡胶
18
管路接头
1/4swagelok,φ6～φ10
19
供电电源
±15vdc(±5%)。 +15v＜100ma,-15v＜150ma
20
设定信号
(0～5)vdc 输入阻抗＞1mω
21
流量输出信号
(0～5)vdc 负载能力≤3ma
22
电气接头
d-sub15
23
外形尺寸mm
113(宽)×121（高）×32（厚）
24
重量(kg)
0.94
安装环境
本产品为室内使用产品，工作环境温度为5～45℃，相对湿度40～60%。
应注意安装环境远离振动、尘埃、电磁干扰等。
要求使用的气体洁净、无水汽及凝结可能，如客户使用强腐蚀性气体需在订
货时说明。
开机操作
接通电源后，先预热15 分钟，再通气工作，以保证测量的准确度。
比如：通电时，将阀控开关置于“关闭”位置并将设定电位器调到零，待零点稳定后，将阀控开关转到“阀控”位，然后再将设定流量调到您需要的值，实际流量将跟踪设定值而改变。
清洗与关闭功能
将阀控开关置为“清洗”位，阀将打开到zui大，如果气路上下游存在工作压差，将会有很大的气流通过，此功能可用于吹洗管路，或用于排除mfc 内部及其管路残存的其他气体。清洗时的气流量可达该控制器额定满量程流量的几倍至十几倍。
关机
断电源后，气流自动截止。推荐先关气，后断电源。