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S48 32/HMT说明书

2024/5/10 6:11:27发布33次查看
1.3s48 32/hmt质量流量控制器(流量计)的特点
s48 32/hmt型质量流量控制器(流量计)是在horiba-stec引进技术基础上,结合国内需要而研制的一种质量流量控制器产品。
☆具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小,工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢(316l)结构,气密材料采用ptfe、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
☆可任意位置安装。
☆电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合工作。
技术指标
编号
项目
s48 32/hmt
s49-32ba/mt
1
流量规格
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)ml/min
(0~1,2,3,5,10,20,30,50)l/min
2
调节阀类型
电磁调节阀
3
调节阀静止状态
常闭
4
安装方向
任意
5
流量控制范围
2%~
6
流量测量范围
0~
7
零点温漂
±30mv(15℃~35℃)
8
响应时间
2s(t98,设定值的±2% f.s)
9
工作环境温度
5℃~50℃
10
精度保证温度
15℃~35℃
11
精度
±1.0%f.s
12
线性精度
±0.5%f.s
13
重复性
±0.2%f.s
14
工作压差
<10l/min (50~300)kpa,其余规格(100~300)kpa
15
耐压
3mpa
16
泄漏率
1×10-8 pa•m3/s (he)
17
接触气体材料
316l、ptfe、viton氟橡胶
18
管路接头
1/4swagelok,φ6~φ10
19
供电电源
±15vdc(±5%)。 +15v<100ma,-15v<150ma
20
设定信号
(0~5)vdc 输入阻抗>1mω
21
流量输出信号
(0~5)vdc 负载能力≤3ma
22
电气接头
d-sub15
23
外形尺寸mm
113(宽)×121(高)×32(厚)
24
重量(kg)
0.94
安装环境
本产品为室内使用产品,工作环境温度为5~45℃,相对湿度40~60%。
应注意安装环境远离振动、尘埃、电磁干扰等。
要求使用的气体洁净、无水汽及凝结可能,如客户使用强腐蚀性气体需在订
货时说明。
开机操作
接通电源后,先预热15 分钟,再通气工作,以保证测量的准确度。
比如:通电时,将阀控开关置于“关闭”位置并将设定电位器调到零,待零点稳定后,将阀控开关转到“阀控”位,然后再将设定流量调到您需要的值,实际流量将跟踪设定值而改变。
清洗与关闭功能
将阀控开关置为“清洗”位,阀将打开到zui大,如果气路上下游存在工作压差,将会有很大的气流通过,此功能可用于吹洗管路,或用于排除mfc 内部及其管路残存的其他气体。清洗时的气流量可达该控制器额定满量程流量的几倍至十几倍。
关机
断电源后,气流自动截止。推荐先关气,后断电源。
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